在真空中加熱工件進行各項熱處理之爐具統稱為真空爐，真空度可達10^-2至10^-5 torr左右，經由真空爐熱處理之工件，可防止鋼材表面氧化、脫碳，具有較佳的表面品質，媲美鹽浴爐之均溫性及冷卻速度穩定性佳，產品處理迅速及全電腦控制，製程及品質穩定性高。