進行物件在淬火處理後之熱處理實施，以便消除淬火處理之不良影響並保留發揮淬火之功效，使淬火生成的組織變態或析出更加安定（使形成回火麻田散體），減少殘留應力並改善相關機械性質（提昇材料延展性及韌性），又真空回火是可避免高溫氧化，可處理外觀要求高之產品。